这会儿已经没有人跟这位青年骨干计较什么涉及到封建迷信的“神仙”字眼,只当作是沉浸于技术当中的痴狂。
“这……这根本不是常规推演!这是跳出固有思维的绝杀方案!我们做梦都想不到,还能用水来做光学介质!”
在此之前,国内科研团队的惯性思维,永远是“缩短波长换精度”,所有人都在盲目攻坚深紫外和极紫外光源,屡屡碰壁、毫无进展。
没人知道,未来二十年,全球光刻的主流超车路径,根本不是硬堆光源,而是介质革新。
不止是光刻整机与光源,这份蓝图连晶圆迭代、芯片工艺、核心材料的全链路路线,全部精准匹配时代节奏。
有人低声念出晶圆升级路线:“1.5英寸量产→2英寸实验转量产→3英寸商用线→4英寸高端VL线……完全贴合国内外产能代差!”
还有曾经参与过攻坚M集成电路的微系统所核心微电子专家徐圆深盯着材料革新节点,喃喃自语道:“铝互连换代铜互连、普通硅换代应变硅、栅极工艺迭代高K金属栅极……每一次工艺迭代对应的集成度、功耗、算力突破,全部提前给出答案!”
以往,国内研发是试错式攻坚,十年摸索、五年走偏、三年复盘。
现在,这份蓝图是开卷式答题,二十年技术路径、时间节点、攻坚重点、避坑要点,一览无余。
“有这份路线图,我们至少少走十年弯路!妈的,外国是真特娘的先进,竟然藏了这么厉害的好东西,这一回,咱们也有了!”
今年正好参与国产微型电路项目,华东计算所青年微机工程师陈仁甫眼眶通红,声音压抑着滚烫的狂热,“有了这份蓝图,我们可以看着路标直奔终点,完全可以跳过无数无效迭代,直接对标日美主流制程,实现超车!”
如果说宏观路线图是指引方向的战略导航,那么随后呈上的两份绝密核心技术论文,就是颠覆国内器件研发格局的战术级杀器。
会议室的气氛从震撼,彻底变成了无比亢奋。
墙上的巨大蓝图再一次翻新,变成了《BT器件结构与全套制造工艺》,更是让电力、电子与功率半导体领域的专家,深耕功率半导体的周世昌瞬间起立,他双手撑住桌面,死死盯着图纸上的复合结构,当场读出了声。
“MFT的高速开关、高阻抗驱动,叠加BJT的大电流、低压降导通优势,单一器件融合两种主流功率管的所有优点,规避所有短板,这个真的可以做到吗?还是概念型设计?”
他心里难免生出疑惑,国内功率半导体还停留在普通晶闸管、单一M、单一BJT的分立应用阶段,无人想到可以将两种器件结构融合重构,打造出一款全能型功率器件。
这是一个前所未有的全新设计方案,打破了以往的固有思维。
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更让人惊疑不定的是,这份资料不止给了理论结构,连量产工艺、缺陷规避、良率优化的细节全部补齐。
“V型槽精准刻蚀工艺、台面钝化方案!”周世昌的指尖遥遥划过墙上巨大蓝图中密密麻麻的工艺参数,激动声音发颤,“连致命的擎住效应抑制方案都给出了,电子辐照寿命控制、高温退火修复栅氧损伤、开关速度与耐压平衡参数……
全部精确到工艺步骤,这哪里是技术猜想?这是成熟的、经过无数次量产验证的全套标准答案!”